对洁净室空气中粒子的粒径和数量进行测试使用的是一种称为“粒子计数器”的仪器，它也被称为“单粒子计数器”，以便将其与测量过滤器安装泄露的光度计相区别。粒子计数器既可以测出空气中粒子的数量，也可以测出其粒径。而光度计只是测量粒子质量。

 

粒子计数器是洁净室的测试和运行所必不可少的工具。悬浮粒子计数器一般的空气采样量是28升/分钟（1立方英尺/分钟），各种型号的这类粒子计数器测出的粒径下限可达到0.3um。有些灵敏度高的型号可测出小至0.1um的粒子,但其空气采样量一般也小些。

 

粒子计数器的工作原理，当单个粒子穿过探测区的光束时，会产生光线散射，其散射的光线就会被光电二级管探测到。光束的光源一般是激光电二极管，或者是氦氖激光器以增加灵敏度。粒子散射的光线由一个透镜系统集中，然后由光电二极管将光转换成电脉冲。该脉冲的幅度与粒径成比例。由此就可测量出粒径。

     

粒子计数器还能对光电二极管产生的脉冲数加以计数，由此就可得出粒子的数量。对粒子的计数是按照“等于大于”一粒径值进行的，所有等于和大于给定粒径的粒子都予以计量。这与洁净室标准中规定的测量方法相同。

 

在高质量的洁净室中，产品对悬浮粒子污染非常敏感，为探查出与悬浮粒子浓度相关的对洁净度的偏离，需要对空气进行连续监测。但在洁净度要求差些的洁净室中，就没有连续监测的必要。一名技术人员拿着粒子计数器在室内四处走动，就可以进行这种测试了。但技术人员的时间是昂贵的，他在室内的逗留会增加室内的悬浮污染。所以，有时对粒子状况进行连续监测更好些。

 

连续采样主要有两种方法，这两种方法一般各称为“顺序监测”和“瞬时监测”。在顺序监测系统中，室内装有许多采样管，从每个采样点依次对空气进行采样。这些空气样本通过采样管，经过管道送往粒子计数器进行粒子计数。为提高工作效率，通常要对结果进行分析。

 

瞬时监测系统有许多小传感器，这些传感器在室内各个点对空气中的粒子进行连续的计数和粒径的测定。