洁净室污染控制基础知识(4-1-2)
文章出处：KENID 整理日期：2013-04-24 浏览：1106次
洁净室污染的来源
多数污染物已经证实主要有以下将要提到的五个基本来源，设备、人、工具、液体和制造的产品都可能产生污染，重新回顾这些因素将有助于我们更好理解污染的产生根源。
1、设备
墙壁，地板和天花板
油漆和涂料
建筑材料 (粉尘颗粒,可见灰尘)
洁净室空气调节装置残片
房间空气和水蒸气
溢出物和泄漏物
2、人员产生
皮肤产生的皮屑和油脂
化妆品和香水
唾沫
衣服碎片 (棉绒、 纤维等)
头发
3、工具产生
摩擦产生物和包装产生尘粒
润滑物和喷射物
机械震动
扫帚，拖把和除尘器
4、洁净室流体物
空气漂浮物
细菌, 有机物和水蒸气
地板抛光剂和涂料
化学清洁药品
增塑剂
除离子水
5. 洁净室产品产生
硅片
石英碎片
无尘室材料产生碎片
铝制品产生残存物
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